文献类型：期刊文章

作　　者：杜艳丽[1] 严惠民[2]

机构地区：[1]郑州大学物理工程学院电子科学技术系,郑州450052 [2]浙江大学光电系国家光学仪器工程技术研究中心,杭州310027

出　　处：《光电工程》

基　　金：国家高科技863计划资助项目

年　　份：2008

卷　　号：35

期　　号：9

起止页码：55-59

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20084411669135)、IC、JST、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用白光作为光源的干涉仪(WLI)克服了单色相干光干涉相位不确定,不能够进行绝对测量的缺点,本文设计了一种串连差分白光干涉(DMLI)测量极薄金属带材厚度的新系统。该系统的特点是由两个迈克尔逊干涉仪(MI)串联组成差分干涉系统,两个干涉仪的测量反射面由薄带的两个对应表面承担,干涉系统的最后输出信号只与薄带的厚度有关,而与薄带在测量光路中的位置无关。理论分析及实验结果表明,该系统既有干涉测量的高精度、高灵敏度,又具有较强的抗干扰能力。

关 键 词：差分白光干涉  金属极薄带  串连  厚度 干涉谱  

分 类 号：TN247]