期刊文章详细信息
化学气相沉积技术的研究与应用进展
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]兰州交通大学化学与生物工程学院,甘肃兰州730070
年 份：2008
卷 号：44
期 号：3
起止页码：211-213
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的几种CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势,并展望其应用前景。
关 键 词：化学气相沉积 应用 发展
分 类 号：TG156.8]
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