期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]清华大学深圳研究生院制造技术与系统研究所,深圳518055
基 金:国家科技支撑计划项目(2006BAF02A07)
年 份:2008
期 号:7
起止页码:1-3
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要:介绍了面向固晶装备的光学定位控制系统的工作原理,并阐述了其系统硬件设计方案和软件实现。阐述了其运动控制部分采用基于PCI总线的运动控制卡与工控机相结合的方案,分析了视觉定位模块、执行机构等辅助实现运动控制的原理,该系统具有高精度、高速度、人机交互性好等特点。本系统在实验室通过了实验验证。
关 键 词:控制系统 固晶 光学定位
分 类 号:TP273] TP334.2]
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