文献类型：期刊文章

作　　者：李坤[1] 李金华[1] 朱毅青[1] 周锋[2] 陈汉松[2] 罗志伟[3] 汤国英[3] 陈王丽华[4]

机构地区：[1]江苏石油化工学院应用化学系,常州213016 [2]江苏石油化工学院基础课部,常州213016 [3]香港理工大学电子工程系 [4]香港理工大学应用物理系

出　　处：《江苏石油化工学院学报》

年　　份：1997

卷　　号：9

期　　号：3

起止页码：28-32

语　　种：中文

收录情况：RSC、普通刊

摘　　要：报道了以乙酸铅、乙酸氧锆和钛酸正丁酯为原料，用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法，经多次旋转涂膜，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了PZT凝胶薄膜。用快速退火（RTA）作薄膜的热解和结晶热处理，制备了以（100）取向为主的PZT薄膜。用X射线衍射（XRD）和RT66A测试了膜的结晶取向、漏电流、电滞回线和抗疲劳性能等。结果表明，经RTA处理的溶胶凝胶法PZT膜具有良好的性能。

关 键 词：PZT薄膜 快速退火 铁电薄膜 溶胶凝胶法 退火

分 类 号：TM221.051[材料类]