文献类型：期刊文章

作　　者：曾毅波[1] 蒋书森[1] 黄彩虹[2] 张玉龙[1] 张艳[1]

机构地区：[1]厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门361005 [2]华侨大学信息科学与工程学院,福建泉州362021

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：厦门大学科技创新预研基金资助项目(No.Y07002)

年　　份：2008

卷　　号：16

期　　号：7

起止页码：1241-1246

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20083411474465)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题。LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平。

关 键 词：激光共焦扫描显微镜 微机电系统 角度测量  形貌分析 图形拼接  

分 类 号：TH742.64]