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综合利用副产物SiCl_4氢还原生产多晶硅
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川峨嵋半导体材料厂,所
年 份：2008
期 号：8
起止页码：27-30
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：随着我国近年来多晶硅生产规模急剧扩大，副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字，如果不能充分利用，采取自由排放，将可能产生环境灾难和巨大资源浪费。因此生产多晶硅的企业，必须现在就考虑对SiCl4副产物的处理问题，这个问题可以说是关系多晶硅生产企业“生死存亡”的大问题。
关 键 词：生产规模 多晶硅 副产物 综合利用 氢还原 生产企业 资源浪费 环境灾难
分 类 号：F426.61]
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