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期刊文章详细信息

压陷误差对厚度校准片校准结果的影响    

  

文献类型:期刊文章

作  者:王树成[1] 牛立新[1] 唐云卿[2]

机构地区:[1]中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京100095 [2]武汉大学工学院,湖北武汉430072

出  处:《计测技术》

年  份:2008

卷  号:28

期  号:3

起止页码:53-54

语  种:中文

收录情况:普通刊

摘  要:主要介绍了在利用数显式电感测微仪对覆层测厚仪厚度校准片进行校准时,由测量力引起的压陷误差对校准结果的影响。

关 键 词:数显式电感测微仪  覆层测厚仪  厚度校准片  压陷误差  校准

分 类 号:TB921]

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