文献类型：期刊文章

作　　者：邓太平[1] 毛文行[1] 尹传强[1] 刘兵发[1] 杜国平[1] 周浪[1]

机构地区：[1]南昌大学材料科学与工程学院/NCU-LDK太阳能研究中心,江西南昌330031

出　　处：《材料科学与工程学报》

年　　份：2008

卷　　号：26

期　　号：3

起止页码：449-452

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒,严重影响线切割硅片的表面质量,严重时造成硅片切割生产中断线。我们采用光学显微镜、扫描电镜-特征X射线能谱仪、X射线衍射仪等手段对定向凝固多晶硅锭中的夹杂进行了分析。采用溶解硅基体后沉淀萃取的方法取得硅锭不同部位的夹杂。分析结果表明,硅锭中夹杂的物相主要有两种:β-SiC和β-Si3N4,SiC的数量较多;二者形貌有显著区别:前者呈不规则块状,而后者则呈平直杆状。硅锭的顶表面附近夹杂高度富集,但内部仍偶有大于100微米的较大的碳化硅夹杂颗粒出现。

关 键 词：太阳能 多晶硅 夹杂

分 类 号：TM914.4]