期刊文章详细信息
脉冲激光沉积法(PLD)生长Co掺杂ZnO薄膜及其磁学性能 ( EI收录)
Fabrication and Magnetic Properties of Co-doped ZnO Thin Films by Pulsed Laser Deposition
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027 [2]杭州电子科技大学理学院材料物理研究所,浙江杭州310018
基 金:国家“973”计划(2006CB604906);国家自然科学基金(50532060,50772099)资助项目
年 份:2008
卷 号:29
期 号:3
起止页码:486-490
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:采用脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si(100)及石英衬底上生长Co掺杂ZnO薄膜,并且比较了不同生长条件下薄膜的性能。实验观察到了700℃、0.02Pa氧压气氛下生长的Co掺杂ZnO薄膜显示室温磁滞回线。采用XRD、SEM等手段对Co掺杂ZnO薄膜的晶体结构及微观形貌进行了分析,得到的ZnO薄膜具有高度的c轴择优取向,结构比较致密,表面平整度较高,并且没有发现Co的相关分相,初步表明Co有效地掺入了ZnO的晶格当中。霍尔测试表明Co掺杂ZnO薄膜样品保持了半导体的电学性能,电阻率为0.04Ω·cm左右,载流子浓度约为1018/cm3,迁移率都在18.7cm2/V·s以上。实验结果表明材料保持了ZnO半导体的性能,并具有室温铁磁性。
关 键 词:氧化锌 磁性 CO掺杂 脉冲激光沉积
分 类 号:O472.5]
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