期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]重庆科技学院冶金与材料工程学院,重庆400050 [2]重庆大学材料科学与工程学院
基 金:重庆市自然科学基金(CSTC2007BB4212);重庆市教育委员会科学技术研究项目(KJ071401)
年 份:2008
卷 号:40
期 号:6
起止页码:9-12
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:铁电薄膜是一类重要的功能材料,是近年来高新技术研究的前沿和热点之一。溶胶-凝胶法是制备铁电薄膜的一种重要方法。综述了溶胶-凝胶法制备铁电薄膜的原理(包括水溶液法和醇盐法)、工艺过程(包括前驱体溶液的配制、溶胶的制备、涂覆、凝胶的干燥、热处理)、特点和采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。最后指出,溶胶-凝胶法制备铁电薄膜工艺仍需优化和改进,薄膜的质量急待提高,以适应器件的要求。
关 键 词:溶胶-凝胶 铁电薄膜 功能材料
分 类 号:TQ13]
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