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等离子体金属有机物化学气相沉积碳氮化钛 ( EI收录)
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]青岛化工学院等离子体表面技术研究所
基 金：本课题为山东省自然科学基金
年 份：1997
卷 号：26
期 号：5
起止页码：4-5
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要：叙述了采用金属有机物钛酸四乙脂取代四氯化钛,运用PCVD外加热法沉积Ti(CN)涂层,其显微硬度可达1600kg/mm^2,涂层结构仍为柱状晶.
关 键 词：等离子体 金属有机物 碳氮化钛 化学气相沉积
分 类 号：TG174.442]
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