文献类型：期刊文章

作　　者：戴一帆[1] 周林[1] 解旭辉[1] 焦长君[1] 李圣怡[1]

机构地区：[1]国防科技大学机电工程与自动化学院机电系,湖南长沙410073

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家973计划;国家自然科学基金(50775215)资助课题

年　　份：2008

卷　　号：28

期　　号：6

起止页码：1131-1135

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20083611520881)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法。介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的离子束修形设备上对一块直径98mm的微晶玻璃平面样件进行了离子束修形试验,经过两次的迭代修形使其面形精度均方根误差由初始的0.136λ提高到0.010λ(λ=632.8nm),平均每次迭代的面形收敛率达到3.7。实验结果表明,应用离子束进行光学镜面修形无边缘效应、面形收敛快、加工精度高;由于离子束修形技术去除材料过程自身的特点,使数控离子束修形技术对非球面的加工和对平面的加工难度相当。

关 键 词：光学加工 离子束修形  计算机控制光学表面成形  驻留时间  去除函数

分 类 号：TH161]