期刊文章详细信息
平面磁控溅射靶磁场的计算 ( EI收录)
Calculation of 2-D Magnetic Field Distribution of Planar Magnetron Targets
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院,大连116024
基 金：国家自然科学基金资助项目(No.50407015)
年 份：2008
卷 号：28
期 号：3
起止页码：271-274
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20082611337680)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场。
关 键 词：磁控溅射 磁场 有限元法
分 类 号：TB34[材料类]
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