文献类型：期刊文章

作　　者：薛俊明[1] 黄宇[1] 熊强[2] 马铁华[3] 孙建[1] 赵颖[1] 耿新华[1]

机构地区：[1]南开大学光电信息科学技术教育部重点实验室,天津300071 [2]河北省信息产业厅唐山无线电管理分局,河北唐山063000 [3]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051

出　　处：《兵工学报》

基　　金：天津市科技发展计划项目(06YFGZGX02100);国家“973”重点基础研究项目(2006CB202602和2006CB202603)

年　　份：2008

卷　　号：29

期　　号：4

起止页码：504-508

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间20 s、溶液浓度0.5%的条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在应用前景。

关 键 词：凝聚态物理学 中频脉冲磁控溅射  ZnO:A1薄膜  绒面 溅射功率 工作气压

分 类 号：TM914.42]