期刊文章详细信息
X射线透射法测量膜厚
Measuring film thickness using X-ray transmission method
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学技术大学理学院,安徽合肥230026
基 金：国家基础科学人才培养基金(No.J0630319)
年 份：2008
卷 号：28
期 号：4
起止页码：44-46
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：薄膜厚度不仅与薄膜的电导率有关,而且与薄膜的光学性能甚至表面结构密切相关.薄膜厚度的测量精确有助于研究薄膜的物理性能.本文利用X射线在材料中传播的特征设计了大学物理实验室测量薄膜厚度的方法.
关 键 词：膜厚 X射线 透射
分 类 号：O484.5]
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