文献类型：期刊文章

作　　者：李长生[1] 张晔[1] 田明霞[1] 刘万章[2] 宋新亚[2] 钱周[2]

机构地区：[1]江苏大学省摩擦学重点实验室,江苏镇江212013 [2]浙江金鹏化工有限公司,杭州浙江311724

出　　处：《摩擦学学报》

年　　份：2008

卷　　号：28

期　　号：2

起止页码：128-132

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20082011256976)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用双靶反应磁控溅射法在不锈钢基体表面沉积Ti-Al二元金属间化合物薄膜，采用改变基体相对于靶材位置的方法调整薄膜中Al和Ti含量，通过对薄膜成分和结构表征以及摩擦系数测定，并结合Ti-Al合金相图系统研究不同成分薄膜的摩擦磨损特性．结果表明：随着薄膜中Al含量在43．20at％-67．89at％之间改变，薄膜的摩擦系数处于0．05—0．30之间；当薄膜中Al含量为45．59at％时，薄膜的摩擦系数最小，为0．05，且Al含量为43．20at％-48．23at％的薄膜的摩擦系数均小于0．10；当Al含量大于48．23at％时，随着Al含量的增加，薄膜的摩擦系数增至0．32；当Al含量为43．20at％-48．23at％时，薄膜中形成了α2-Ti3Al＋γ-TiAl两相共存组织，具有减摩效果的同时，使其磨损率降低12．57％-38．41％．

关 键 词：Ti-Al金属间化合物  固体润滑薄膜 磁控溅射 摩擦磨损性能

分 类 号：TH117.3]