文献类型：期刊文章

作　　者：张广安[1] 王鹏[1] 陈友明[1] 王霞[1] 闫鹏勋[2] 张俊彦[1]

机构地区：[1]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州730000 [2]兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50572108,50772115);中国科学院“百人计划”资助项目

年　　份：2008

卷　　号：28

期　　号：2

起止页码：118-122

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20082011256974)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低,耐磨寿命显著提高.

关 键 词：中频磁控溅射 Al-DLC薄膜  摩擦磨损性能

分 类 号：TG174.44] TH117.3]