期刊文章详细信息
非规则矩形电阻在Calibre LVS中阻值提取问题研究与实现
Research and Resolve for Irregular Rectangle Resistance Value Extracting in Calibre LVS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]辽宁大学物理学院,中国沈阳110023 [2]北京美新华微电子技术有限公司,中国北京100044
年 份：2008
卷 号：17
期 号：4
起止页码：55-57
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文首先介绍了Calibre LVS的基本流程。在分析了现有的在LVS过程中电阻版图阻值提取方法的优缺点基础上提出了一种新颖的电阻的提取方法,经过Calibre LVS验证可以有效的减小了电阻阻值提取的误差,为非规则矩形电阻提取提供了一种新的。
关 键 词：Calibre LVS 非规则矩形电阻 自修正系数 SOI工艺
分 类 号：TN402]
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