期刊文章详细信息
基于平面线圈的石英挠性加速度计的初步设计
Preliminary Design of Silicon Flexural Accelerometer Based on Plane Helix
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学机械与能源工程学院机械电子控制工程研究所,浙江杭州310027
年 份：2008
期 号：3
起止页码：12-13
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：针对石英挠性加速度计目前存在的稳定性不好、温漂较大及不能兼顾大量程和高灵敏度测量等问题,提出了使用通电线圈代替永磁材料提供支承磁场,在石英摆片上双面光刻螺旋线圈作为力矩线圈的构想,并以此为基础初步设计了基于平面线圈、灵敏度可调的石英挠性加速度计。经过建模分析,可以达到预想的效果。
关 键 词：平面线圈 稳定性 灵敏度
分 类 号：TP212]
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