期刊文章详细信息
一种新型硅片传输机械手的设计
The Design of the New Wafer-Handing Manipulator
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安工业大学光电工程学院,陕西西安710032 [2]西安北方光电有限公司航控车间,陕西西安710034
年 份：2008
期 号：5
起止页码：90-90
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文介绍一种实现精确、稳定、洁净传输的专用硅片机械手的组成与特点。该系统特殊的机构设计可避免接触硅片表面,使硅片在加工中受到的污染达最小。采用PLC控制各部功能,完成机械手的抓取、升降、旋转等运动。较同类型机械手,有着结构简单紧凑、稳定性好等特点。
关 键 词：机械手 机构 PLC 精确传输
分 类 号：TN309.12] TH112]
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