期刊文章详细信息
用类金刚石碳掩膜制备LaAlO_3台阶衬底
FABRICATION OF LaALO 3 STEP EDGE SUBSTRATES USING DIAMOND LIKE CARBON FILMS AS MASKS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京大学电子科学与工程系微结构科学技术高等研究中心
基 金：国家超导中心资助
年 份：1997
卷 号：19
期 号：5
起止页码：340-345
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：我们用脉冲激光淀积（ＰＬＤ）方法在ＬａＡｌＯ３（ＬＡＯ）衬底上生长了类金刚石碳（ＤＬＣ）膜，并以此作为掩模，制备了台阶衬底．ＳＥＭ分析表明，制备的台阶衬底具有陡直的台阶角度（大于７００）．我们用这样的台阶衬底制成了ＹＢＣＯ台阶结并测量了结的基本特性，结果表明，结有较好的高频特性．
关 键 词：YBCO 约瑟夫森器件 类金刚石碳膜 LAO 超导薄膜
分 类 号：TM262[材料类]
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