文献类型：期刊文章

作　　者：杜春雷[1] 郭履容[2] 郭永康[2]

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所,成都610209 [2]四川大学信息光学研究所,成都610064

出　　处：《光子学报》

年　　份：1997

卷　　号：26

期　　号：9

起止页码：824-831

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：本文在衍射理论基础上，深入分析了菲涅耳型衍射光学元件的特性，针对连续及二元浮雕结构，建立了位相深度因子（M），波长匹配系数（α）与衍射效率的关系式，对影响衍射效率的因素进行了讨论．研究了设计与工艺的匹配问题，建立了数值孔径，最小特征尺寸与衍射效率的关系，为不同波段衍射光学元件的应用，及设计和评价衍射光学元件提供了有效的理论方法．本文最后举例分析了用于白光波前传感器中的小数值孔径微透镜列阵的性能，并对衍射效率及传递函数两个综合指标进行了测量．

关 键 词：菲涅耳型  衍射光学元件 衍射效率

分 类 号：O436.1] TH74]