文献类型：期刊文章

作　　者：严辉[1] 马黎君[1] 陈光华[1] 黄世平[2] 文华杰[2] 郭伟明[3]

机构地区：[1]北京工业大学应用物理系 [2]香港中文大学电子工程系 [3]香港中文大学化学系

出　　处：《物理学报》

年　　份：1997

卷　　号：46

期　　号：8

起止页码：1658-1664

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004057858239)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：侧重研究了高温氧化（３００－５５０℃）引起金属Ｓｎ薄膜的表面显微形貌和表面氧化状态的变化．利用原子力显微镜（ＡＦＭ）的测量，观察到金属Ｓｎ薄膜表面的金属晶粒呈现近似方形的显微形貌，但是金属Ｓｎ氧化薄膜表面的金属氧化物颗粒却具有近似圆形的显微形貌，因此，金属晶粒的高温氧化是一个各向异性的过程．在Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）测量的基础上，不仅发现在金属Ｓｎ薄膜和金属Ｓｎ氧化薄膜的表面都存在大量的吸附氧粒子。

关 键 词：半导体 二氧化锡 薄膜  高温氧化 表面特征  

分 类 号：TN304.21]