期刊文章详细信息
超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究 ( EI收录)
THE CHARACTERISTIC RESEARCH OF SUSPENDING LIQUID IN MULTI-WIRE-SAW OF SUPER THIN SOLAR WAFERS
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]河北工业大学化工学院,天津300130 [2]河北工业大学信息功能材料研究所,天津300130
年 份:2008
卷 号:29
期 号:3
起止页码:324-327
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:对硅片线切割工艺中悬浮液特性进行了理论与实验分析.测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线和pH值与温度特性曲线,为硅片的线切割工艺优化提供了理论和实验依据。
关 键 词:悬浮液 粘度 PH值 温度
分 类 号:TN305]
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