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期刊文章详细信息

超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究  ( EI收录)  

THE CHARACTERISTIC RESEARCH OF SUSPENDING LIQUID IN MULTI-WIRE-SAW OF SUPER THIN SOLAR WAFERS

  

文献类型:期刊文章

作  者:任丽[1] 李彦林[2] 羊建坤[2] 刘晓平[2] 王敏花[2]

机构地区:[1]河北工业大学化工学院,天津300130 [2]河北工业大学信息功能材料研究所,天津300130

出  处:《太阳能学报》

年  份:2008

卷  号:29

期  号:3

起止页码:324-327

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:对硅片线切割工艺中悬浮液特性进行了理论与实验分析.测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线和pH值与温度特性曲线,为硅片的线切割工艺优化提供了理论和实验依据。

关 键 词:悬浮液 粘度 PH值 温度

分 类 号:TN305]

参考文献:

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耦合文献:

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引证文献:

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二级引证文献:

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同被引文献:

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