文献类型：期刊文章

作　　者：穆参军[1] 张飞岭[2] 吴亚明[1]

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所 [2]飞索半导体(中国)有限公司,苏州215021

出　　处：《Journal of Semiconductors》

基　　金：上海市科学技术委员会光技术专项资助项目(批准号:046105006)~~

年　　份：2008

卷　　号：29

期　　号：3

起止页码：583-587

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用.

关 键 词：MEMS 大尺寸光学扫描镜  电磁驱动 大角度转动  光学反射率  

分 类 号：TP211.4]