文献类型：期刊文章

作　　者：黄世震[1] 林伟[1] 王大伟[1]

机构地区：[1]福建省微电子集成电路重点实验室

出　　处：《功能材料与器件学报》

基　　金：福建省自然科学基金计划资助项目(No.T0750004)

年　　份：2008

卷　　号：14

期　　号：1

起止页码：167-170

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以三氧化钨为基材,通过掺杂制作了半导体型氯化氢气体传感器,研究元件的气敏特性。以钨酸钠和浓盐酸为反应物,采用溶胶-凝胶法,制备出具有特殊结构的三氧化钨。通过XRD、SEM、TEM等微观分析手段,发现该材料具有层片状结构,结构松散,平均粒径约17纳米。研究发现,掺杂适量的氧化铝可以大大提高三氧化钨对氯化氢气体的灵敏度,但元件稳定性以及选择性比较差,通过掺杂少量的氧化锌,虽然降低了元件的灵敏度,却可以大大提高元件的稳定性,适当提高加热电压,可抑制元件对NO2等气体的灵敏度,提高选择性。本文对三氧化钨的气敏机理及特性进行分析。

关 键 词：氯化氢 气敏 气体传感器

分 类 号：TP212]