文献类型：期刊文章

作　　者：张璟[1] 胡刚翔[2] 马树林[1] 李伟[1] 叶怀储[3]

机构地区：[1]浙江工业大学,浙江杭州310014 [2]宁波计量测试所,浙江宁波315041 [3]浙江省质量技术监督局,浙江杭州310014

出　　处：《新技术新工艺》

基　　金：浙江省自然科学基金(M503049);浙江省科技厅重点项目(2004C21007);浙江省教育厅重点项目(20030157)资助

年　　份：2008

期　　号：2

起止页码：35-37

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一。本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程。最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工。

关 键 词：双面抛光  光电子材料 超光滑表面

分 类 号：TQ171.6]