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期刊文章详细信息

平板显示器中ITO透明电极制备的研究    

Preparation of ITO Transparent Electrode for FPD

  

文献类型:期刊文章

作  者:姚亮[1] 张永爱[1] 雷晓阳[1] 郭太良[1]

机构地区:[1]福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所,福建福州350002

出  处:《液晶与显示》

基  金:福建省科技重大专项(No.2004HZ01-2)

年  份:2008

卷  号:23

期  号:1

起止页码:16-20

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EBSCO、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌。比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和FeCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响。最后指出在25±2℃的环境下,刻蚀液HCl、H2O和FeCl3.6H2O的配比满足3L∶1L∶(20~30g)时,ITO膜的刻蚀速率能达到1nm/s,所制备的透明电极边缘整齐无钻蚀,适合于制备平板显示器中的透明精细电极。

关 键 词:平板显示器 ITO透明电极  湿法刻蚀

分 类 号:O484.1]

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