期刊文章详细信息
光栅尺纳米测量技术研究及其发展
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]安徽大学测量与控制工程系,合肥230039
基 金：安徽省教育厅自然科学基金项目资助
年 份：2008
卷 号：1
期 号：1
起止页码：70-71
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了光栅尺纳米测量技术的国内外研究现状,并对它们优劣进行了分析,在上述成果的基础上,得出一种以光栅栅距为测量基准,测量精度主要取决于光栅栅线的刻制精度的光栅干涉测量方法,它受光源光强和波长变化的影响很小,因此在工况条件下能够具有较好的测量精度和稳定性,符合大量程、高分辨力、动态等纳米测量技术的发展趋势,最后对此测量系统将实现样机仪器化、产业化进行了展望。
关 键 词：光栅尺 纳米测量 光栅干涉
分 类 号：TN929.1] TB39]
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