文献类型：期刊文章

作　　者：马胜歌[1] 于大洋[2] 杨宏伟[1] 张以忱[2]

机构地区：[1]深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心,深圳518029 [2]东北大学机械工程及自动化学院,沈阳110004

出　　处：《核技术》

基　　金：深圳市科技计划项目资金(SY200609080027A)资助

年　　份：2008

卷　　号：31

期　　号：2

起止页码：111-114

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好。

关 键 词：类金刚石膜 多层膜  非平衡磁控溅射 电弧离子镀 X射线光电子能谱仪  

分 类 号：O484.4] TB43[物理学类]