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激光全场衍射计量
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津大学精仪学院光电信息工程系,天津300072
年 份：2008
卷 号：11
期 号：1
起止页码：84-86
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：传统的接触式测量方式由于接触应力将使得被测件变形,从而产生较大的测量误差。而衍射计量方法在测量缝宽、间隙、微孔直径及全场变形等方面有着高精度、非接触、高效率等优点,在精密检测方面起着不可或缺的作用,其原理简单,效果很好。
关 键 词：衍射测量 缝宽 间隙 微孔 全场变形
分 类 号：TM933.4] TB9]
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