期刊文章详细信息
小尺寸等离子体电子密度原子发射光谱诊断
Diagnoses of Mini-plasma Electron Density by Atomic Emission Spectroscopy
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京理工大学化工学院现代光谱研究室,南京210094
基 金：南京理工大学青年学者基金(Njust200303)
年 份：2008
卷 号：24
期 号：1
起止页码：103-107
语 种：中文
收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RSC、ZGKJHX、普通刊
摘 要：发射光谱法诊断技术作为一种"非接触式诊断技术",其响应时间快,分辨率高,可以满足小尺寸等离子体电子密度诊断的要求。本文综述了H谱线Stark展宽法、非H谱线Stark展宽法和Saha方程法测量电子密度的原理及近年来在小尺寸等离子体的电子密度诊断中的应用。
关 键 词：应用化学 等离子体 电子密度 Stark展宽法 Saha方程法
分 类 号：O657.31]
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