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期刊文章详细信息

高精度自动化椭圆偏振光谱仪    

High Precision Automatic Ellipsometer

  

文献类型:期刊文章

作  者:朱德瑞[1] 赖天树[1] 李秋俊[1] 莫党[1]

机构地区:[1]中山大学物理学系

出  处:《中山大学学报(自然科学版)》

基  金:广东省高教厅资助

年  份:1997

卷  号:36

期  号:4

起止页码:31-36

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX1996、CAB、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、IC、INSPEC、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、核心刊

摘  要:报导了486/80计算机控制的自动化的转动检偏计式的光度法椭圆偏振光谱仪的设计和制造.仪器主要由光学系统、机械转动控制系统和数据采集系统组成.其频谱范围200~900nm,入射角可在5~85°连续改变,灵敏度达0.1μW光强,有很高的精密度,折射率n达0.002量级,消光系数k达0.003量级,准确度n达0.001量级,k达0.002量级.实验检验了仪器的精密度和准确度.

关 键 词:椭偏光谱仪  光度法 椭圆偏振光谱 光谱仪

分 类 号:TH744.1]

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引证文献:

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同被引文献:

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