期刊文章详细信息
拖动分子泵的压缩比——工作间隙的自泄漏模型
Compression Ratio of Molecular Drag Pumps ——a Model of Self leakage of Molecular Drag Pumps
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]深圳大学应用物理系
年 份：1997
期 号：4
起止页码：21-26
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文提出了拖动分子泵的自泄漏模型，并利用该模型讨论了分子流状态下，拖动泵的槽间泄漏对压缩比的影响及其对策。理论结果与实测值符合得很好。自泄漏模型为发展新一代高抽速、高流量分子泵提供了重要的理论基础。
关 键 词：分子泵 泄漏 自泄漏 压缩比 拖动分子泵
分 类 号：TB752.27]
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