文献类型：期刊文章

作　　者：郑小平[1] 张佩峰[2] 范多旺[2]

机构地区：[1]兰州城市学院电子信息科学与技术研究所,兰州730070 [2]兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金(批准号:10574059);甘肃省自然科学基金(批准号:0710RJZA074);兰州交通大学“青蓝”人才工程计划、光电技术与智能控制教育部重点实验室开放基金(批准号:K040101);中国博士后科学基金资助的课题~~

年　　份：2008

卷　　号：57

期　　号：1

起止页码：425-429

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCI(收录号：WOS:000252344800066)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000252344800066)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：以扩散理论为基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,引入交换比的概念,对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行Kinetic Monte Carlo模拟.模拟发现,活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,跨层扩散主要是单个原子的扩散,层间扩散的原子数目随着温度的升高或沉积厚度的增加而增多.RLA模型中的"交换作用"只是若干个"基本微观过程"的组合,大多数交换不是位置的"完全交换",交换比也并非恒为1.

关 键 词：扩散理论  薄膜生长 交换作用  RLA  

分 类 号：O484.1]