文献类型：期刊文章

作　　者：楚兴春[1] 吕海宝[2] 赵尚弘[1]

机构地区：[1]空军工程大学电讯工程学院网络工程系,西安710077 [2]国防科技大学机电工程与自动化学院仪器系,长沙410073

出　　处：《光电工程》

年　　份：2008

卷　　号：35

期　　号：1

起止页码：55-59

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对传统光栅干涉仪中测量范围和分辨率难以同时提高的问题,提出利用单根大长度、低线数光栅实现大量程、高分辨率位移测量的方法。首先利用长度400mm,栅距10μm计量光栅的±5级衍射光生成条纹图,实现了条纹的10倍光学细分。然后提出一种基于傅里叶变换时移特性的条纹细分新方法,利用相邻两帧条纹图同一位置处相位的变化实现了高达1000倍的条纹电子细分。在此过程中,针对能量泄漏对傅里叶变换法相位提取精度的影响,提出条纹图整周期裁剪的方法,使条纹细分精度至少可达到1/1000条纹周期。仿真和实验结果表明,系统具有纳米级的分辨率和优于10nm的测量精度。

关 键 词：光学测量 位移  光栅干涉仪 条纹细分  纳米

分 类 号：TB921]