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硅—蓝宝石高温大量程压力传感器设计
Design of high temperature wide range silicon-on-sapphire pressure sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]空军驻黑龙江地区军事代表室,黑龙江哈尔滨150001 [2]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001
年 份：2007
卷 号：26
期 号：12
起止页码：97-99
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计，提出了采用小直径C型膜片的一体化结构，通过合理排布力敏电阻条位置，能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器，其工作温度范围为-50-350℃；满量程输出≥100mV；精度优于0．1％；迟滞与重复性均优于0．05％FS。
关 键 词：硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计
分 类 号：TP212]
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