文献类型：期刊文章

作　　者：刘高斌[1] 王新强[1] 冯庆[1] 何阿玲[1] 马勇[2] 赵兴强[1] 杨晓红[1]

机构地区：[1]重庆大学物理系,重庆400044 [2]重庆师范大学物理系,重庆400046

出　　处：《功能材料》

基　　金：重庆市攻关课题资助项目(CSTC2005AA4006-A6);重庆市自然科学基金资助项目(CSTC2005BB4718;CSTC-2007BB4137)

年　　份：2007

卷　　号：38

期　　号：12

起止页码：1941-1943

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20080411058699)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用烧结的CuAlO2靶材运用电子束蒸发法沉积了p型CuAlO2薄膜样品。在空气中1000℃退火之后,薄膜样品出现了(006)定向结晶,且铜铝原子比满足化学计量。CuAlO2薄膜呈现了很好的透明性,500nm厚的薄膜样品在可见光范围透射率超过了80%。利用光谱分析,CuAlO2薄膜的光学禁带约为3.80eV,其平均折射率约为1.54,同其它方法制备的该薄膜的性能相近。薄膜样品室温电导率约为0.08S/cm。

关 键 词：透明导电膜 P型 CuAlO2  电子束蒸发

分 类 号：O472] TN304.05[物理学类]