期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥230031 [2]佛山大学物理系,广东佛山528000
年 份:1997
卷 号:14
期 号:4
起止页码:363-369
语 种:中文
收录情况:AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、INSPEC、JST、RSC、ZGKJHX、普通刊
摘 要:通过对保角变换的精确修正,推导出了设计均匀场电极的简易解析公式,使电极的紧凑性和均匀性有很大改进。将此电极运用于准分子激光系统(KrF248nm),获得了较大宽度的均匀放电。
关 键 词:均匀场电极 保角变换 准分子激光
分 类 号:TN248.22]
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...