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有机废气净化工艺的选择及效果
CHOICE AND EFFECT OF ORGANIC EXHASUT-GAS PROCESSES
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]首钢日电电子有限公司,北京100041
年 份：2007
卷 号：16
期 号：2
起止页码：78-81
语 种：中文
收录情况：CAS、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析,总结了各种净化工艺特点和应用的范围,在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备。经过一年的生产验证,有机废气达到国家大气污染物排放标准,与现有废气处理设备相比,节省了投资、降低了运行成本,经济效果明显。
关 键 词：有机废气 碳吸附 比表面
分 类 号：X131.1] X76
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