期刊文章详细信息
沉积压力对Parylene C膜性能的影响
The effect of deposition pressure on the properties of PC film
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]四川材料与工艺研究所,绵阳621900
年 份：2007
卷 号：35
期 号：11
起止页码：47-48
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、核心刊
摘 要：采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力升高,Parylene C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下降,雾度增大。
关 键 词：PARYLENE C 沉积压力 结晶度
分 类 号：TB383.2[材料类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
