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大位移测量的容栅传感器工作原理
The Analysis on the Principle of the Capacitive Grate Transducer for Measuring of Large Displacement
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连轻工业学院机械工程系
年 份：1997
卷 号：16
期 号：2
起止页码：18-22
语 种：中文
收录情况：IC、普通刊
摘 要：从理论上分析了容栅传感器的工作原理及其理论非线性误差，提出了较为合理的等效电路和理论非线性误差表达式。容栅传感器是一种相位跟踪型位移传感器，对输入信号的幅值变化不敏感，具有较好的抗干扰能力。容栅传感器的原理非线性误差与小发射极板宽度成正比，为减小非线性误差，在工艺条件允许的情况下，应尽可能减小小发射极的宽度。
关 键 词：容栅 传感器 位移测量 误差
分 类 号：TP212]
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