文献类型：期刊文章

作　　者：何国田[1] 王向朝[1] 曾爱军[2]

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室 [2]上海恒益光学精密机械有限公司,上海201800

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金(60578051);上海市科委国际合作计划项目(051107085);上海市青年科技启明星计划项目(06QB14047)资助课题

年　　份：2007

卷　　号：27

期　　号：11

起止页码：1997-2002

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20075210995432)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：表面形貌干涉测量技术是一种高精度的非接触式测量技术,在工业生产和科学研究中具有广泛的应用。提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉测量新技术。该技术用激光二极管作光源,用自制的高速图像传感器探测干涉信号,通过信号处理电路实时解相得到被测表面所对应的相位分布,实时分析相位获得物体表面形貌。该技术消除了光强和部分外界干扰的影响,提高了系统的测量精度。楔形光学平板表面形貌的测量结果表明,测量点为60×60个的情况下,测量时间小于8.2 ms,重复测量精度(RMS)为4.3 nm。

关 键 词：光学测量 表面形貌 实时测量  正弦相位调制干涉仪  激光二极管 图像传感器

分 类 号：TN247]