文献类型：期刊文章

作　　者：张飞[1] 闫鹏勋[1] 陈江涛[1] 苗彬彬[1] 李冠斌[2] 王君[1]

机构地区：[1]兰州大学等离子体与金属材料研究所,兰州730000 [2]兰州物理研究所表面工程国防科技重点实验室,兰州730000

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：军工预研(No.51468020105JW2301)

年　　份：2007

卷　　号：36

期　　号：3

起止页码：699-704

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20073110727521)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：TiAlN作为一种三元复合纳米涂层材料,具有非常好的性能。该涂层克服了TiN涂层所存在的一些缺陷,其硬度远远高于TiN涂层,最高可达47GPa,并且具有很好的热稳定性,在700℃高温下仍很稳定,而TiN涂层在500℃时就已被氧化。TiAlN涂层还具有抗磨损,摩擦系数小,热膨胀系数及热传导系数低等特性,这些特性与涂层中Al含量的多少有关,Al含量的改变会导致涂层微观结构的改变,从而使其性能发生变化。氮分压和基底温度对TiAlN涂层的性质有着极其重要影响。本文结合国内外对TiAlN涂层的最新研究进展,对TiAlN涂层的应用,制备方法,结构,抗氧化性及硬度作了简要论述。

关 键 词：TIALN涂层 晶体结构 抗氧化性 硬度  综述  

分 类 号：O484]