期刊文章详细信息
微电子技术发展和展望
Development and Prospect of Microelectronic Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]黄石理工学院计算机学院
基 金："863"计划项目(编号:2004AA32G090);湖北省教育厅科研项目(编号:B200530002)
年 份：2007
卷 号：27
期 号：5
起止页码：7-10
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望。
关 键 词：微电子 砷化稼 集成电路 纳米技术
分 类 号：TN40]
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