文献类型：期刊文章

作　　者：徐甲强[1] 沈瑜生[2] 曾桓兴[2]

机构地区：[1]郑州轻院化工系 [2]中国科大材料系

出　　处：《硅酸盐通报》

年　　份：1990

卷　　号：9

期　　号：3

起止页码：23-27

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：本文研究了沉积工艺条件对超微粒形成的影响,用PCVD法成功合成出具有良好气敏效应的纳米级非晶氧化铁气敏材料。并且采用ED,XRD,TEM,IR,XPS,DTG等现代化仪器对材料的结构与组成进行了研究。表明初始产物的表面有大量吸附杂质,可通过热处理而将之除去。热处理后,材料表面仍有大量的吸附氧,非晶的晶化温度在270—280℃之间。对元件的测试结果表明:超微粒元件具有工作温度低(250℃),气体灵敏度高(C_2H_5OH,200ppm,25倍),响应速度快以及选择性和稳定性良好的优点,其气敏机理显示出表面控制型气敏机理的特点。这些与传统材料和传统机理不同,有待进一步研究。

关 键 词：化学气相沉积 氧化铁 气敏材料

分 类 号：O614.811]