期刊文章详细信息
溶胶-凝胶法薄膜制备工艺及其应用
Films Via Sol Gel Technique and it′s Applications
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]昆明理工大学材料工程系
基 金：云南省科委应用基金
年 份：1997
卷 号：22
期 号：1
起止页码：142-145
语 种：中文
收录情况：AJ、CSA-PROQEUST、IC、普通刊
摘 要：简要评述了近年来溶胶－凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用．与传统的薄膜制备工艺相比，溶胶－凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广，可以在各种形状的基体上制得多元氧化物等优点，溶胶－凝胶薄膜制备工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛应用．
关 键 词：薄膜 溶胶-凝胶法 制备 工艺 氧化物薄膜
分 类 号：TB43] O484.1]
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