期刊文章详细信息
MEMS传感器和智能传感器的发展
Development of MEMS Sensor and Intelligent Sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳110043
年 份：2007
期 号：9
起止页码：9-10
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：MEMS传感器和智能传感器是新型传感器的代表,具有集成化和智能化的特点。介绍了2种传感器的最新发展状况,包括测量精度、灵敏度、体积、转化机理、融合理论等方面。列举了2种传感器的应用实例,如仿生机器人、微纳卫星、计算机视觉系统等。分析了传感器发展的趋势,涉及精度、可靠性、微型化、微功耗、智能化、数字化等方面。
关 键 词：NEMS 智能传感器 集成
分 类 号：TP212]
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