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高速精密定位X-Y工件台动态精度分析
The Dynamic Accuracy Analysis of High-speed Precision Positioning X-Y Workpiece Stage
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]成都理工大学应用核技术及自动化工程学院机电工程系,成都610059
年 份：2007
卷 号：35
期 号：10
起止页码：85-87
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2004、ZGKJHX、核心刊
摘 要：根据高速精密X-Y工件台的工艺参数的特点,对高速精密定位X-Y工件台的动态精度进行分析,包括阶跃输入时间响应、频率响应、系统的动刚度kD的分析。并从结构及材料方面提出了使高速精密定位X-Y工件台达到良好技术性能指标的方法。
关 键 词：高速精密定位 X-Y工件台 动态精度
分 类 号：TG806]
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