文献类型：期刊文章

作　　者：葛文勋[1] 丛鹏[1]

机构地区：[1]美国凯斯西储大学电子工程与计算机科学系

出　　处：《纳米技术与精密工程》

年　　份：2007

卷　　号：5

期　　号：3

起止页码：182-189

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、DOAJ、EI(收录号：20074510909705)、IC、INSPEC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：微机电系统（MEMS）自1988年迄今，已从初期的探索、研究和创新阶段转向了生产与应用的成熟阶段．与此同时开辟了很多新领域．对于在今后5—10年中MEMS研究和发展的动向，专家们因其背景不同而看法各异，笔者选用现有实例来说明．从现在的趋势看，传统微机电系统的未来动向可以概括为4个方面．①把“传统”的、成型的MEMS元件或系统改进后，推向大规模应用，以支持持久的研究和开发；②传感器和微系统网络，当单一效能的系统在应用上建立后，可以开拓大型系统的应用；③新的材料，使用硅或半导体以外的许多材料制作特殊的微系统；④发展新的应用领域将是“非传统”的MEMS的主要动向，这些新的领域有生物研究和医药用仪器设备，微能源无线通讯和光通讯，环境保护和监测，以及纳米系统等．笔者根据一些从事MEMS教育和研究的人员的看法．对其发展动向作一简要报告，为MEMS计划工作者提供一些参考．

关 键 词：微机电系统 传感器 微加工

分 类 号：TN42]